Die vorliegende Arbeit habe ich wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut fur Produktionstechnik und Automatisierung, Stuttgart begonnen. Herrn Professor Dr. -Ing. H. J. Warnecke, Inhaber des Lehrstuhls fur Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb der Universitat Stuttgart und Direktor des Fraunhofer- Instituts fur Produktionstechnik und Automatisierung Stuttgart, bin ich fur die Anregung zu der Arbeit und die immer gegebene Unterstutzung und Forderung zu groBem Dank verpflichtet. Herrn Professor Dipl. -Ing. Ing. (grad. ) A. Jung, Inhaber des Lehrstuhls fur Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik der Universitat Stuttgart danke ich sehr fur seine Bereitschaft zur kritischen Durchsicht des Manuskripts und fur seine wertvollen Hinweise. Bedanken mochte ich mich ferner bei den Mitarbeitern der Hauptabteilung Produktionsverfahren des Fraunhofer-Insti- tuts fur ihre Hilfsbereitschaft und die fruchtbaren Diskussionen, die mir beim Durchfuhren der Arbeit von groBem Nutzen waren. Stuttgart 1980 Dietrich Wolfhard Seite o Inhalt 9 0. 1 9 Inhaltsverzeichnis 0. 2 Schrifttum 13 0. 3 Abklirzungen 20 0. 4 GraBen, Formelzeichen und Einheiten 21 26 Aufgabe 26 1. 1 Einleitung 27 1 . 1 . 1 Beschichten kleiner Wellen und Bohrungen in der Fertigungstechnik 29 1. 1. 2 Auswirkungen der schichtdickenverteilung auf Passungen und die Montage 33 1 . 2 Stand der Technik - Literaturlibersicht 33 1. 2. 1 Qualitative Angaben zur Schichtdickenverteilung 34 1. 2. 2 Quantitative Angaben zur Schichtdickenverteilung 36 1 . 3 Ziele, Aufgabenstellung und Abgrenzung der Untersuchung 38 2 Grundlegende Theorie 38 2. 1 Ursachen der Schichtdickenverteilung 39 2. 1 . 1 Primare Stromdichteverteilung 41 2. 1 .